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在半导体先进制程、光学镀膜与功能涂层快速迭代的今天,纳米级薄膜厚度、密度、均匀性直接决定器件性能、生产良率与长期可靠性。传统检测方式很难同时实现无损检测、纳米高精度测量、整片晶圆全域可视化三大需求。 深圳平湖实验室深耕先进材料表征领域,搭建成熟XRR全套检测平台,配套自研Python自动化拟合程序与晶圆Mapping全域分析体系,形成业内稀缺的一站式薄膜定量解析方案,为各企业研发、量产质控提供精准可靠的数据支撑。 一、针对行业表征难题,提供专属解决方案 随着宽禁带半导体、微电子晶圆、光学涂层技术迈入纳米尺度,薄膜层厚精准控制在nm~百nm级,薄膜密度更是直接关联致密度、组分、应力及电学/光学关键性能。 传统表征手段存在明显局限: 台阶仪:仅测厚度,无法获取密度信息; 椭偏仪:多层膜、高吸收金属膜拟合误差大; TEM 透射电镜:制样破坏性强,难以实现整片晶圆大面积均匀性检测。 深圳平湖实验室核心优势: 无损多参数同步检测:依托标准化 XRR 检测系统,单次测试即可同步输出薄膜厚度、密度、界面粗糙度,测量分...
实验室简介
深圳平湖实验室成立于2022年8月,下设多个先进功率半导体课题组及相关管理支撑部门。研发部门承担科研攻关任务,开展前沿探索、应用基础研究、重大技术攻关、产业应用示范等工作,提供知识产权,推进科技成果转移转化。管理支撑部门负责财务、人事、行政、科研项目管理、运营与质量管理、党建、纪检、审计等业务,保障实验室业务的有序开展。


