摘要:深圳平湖实验室作为国家第三代半导体技术创新中心(深圳)的实体运营单位,其第四代半导体材料与器件课题组聚焦金刚石、氮化铝和氧化镓材料与器件领域,致力于研发先进的第四代半导体材料生长技术、器件制备工艺和异质集成,推动相关材料和器件在智能电网、电力电子、航空航天、新能源、光电和特殊环境等多领域的应用。目前在面向第四代半导体科研方向上已建成理论模拟、材料生长、器件设计和制备、性能测试等专业实验室。
鉴于目前行业内还没有对包括6.2 eV超宽禁带半导体材料和超高压大功率器件的商业化表征系统,实验室自主设计了国内外首台多功能超宽禁带材料和万伏大功率器件综合表征系统,成功填补了该领域的空白。
来源:亚洲氧化镓联盟