凤凰新闻 | 深圳平湖实验室在SiC激光剥离技术领域取得新进展，性能指标达到国际先进水平

发布于： 2025-07-08 10:02

分类：资讯中心外部报道

摘要：深圳平湖实验室使用国产的全自动化激光剥离系统，对激光剥离的机理进行深入研究、系统优化激光剥离工艺参数，2025年6月实现SiC激光剥离的单片总损耗≤75μm，单片成本降低约26%，达到国际先进水平，已完成三批次的小批量验证，良率100%。

这是一项令人振奋的技术突破！核心性能指标达到国际先进水平，在关键技术及设备上实现了自主可控，保障了供应链安全，降低了对外依赖风险，工艺成熟可靠，可快速实现产业化。

来源：凤凰新闻

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