学术影响力再上新台阶 | 深圳平湖实验室6篇论文入选功率半导体顶会IEEE ISPSD 2026,第一单位论文数量位列国内新型科研机构第一,在全球各类机构中排名第七!
5月24—28日,第38届IEEE国际功率半导体器件与集成电路年会(ISPSD 2026)在美国拉斯维加斯召开。作为功率半导体领域的"奥林匹克",ISPSD是全球最具影响力的顶级学术会议,录用标准极为严苛。本届大会共录用165篇论文(含Oral报告58篇),集中展示全球前沿成果。
深圳平湖实验室6篇论文入选(2篇Oral、4篇Poster),以第一单位发表论文数量居国内新型科研机构首位,在全球各类机构中排名第七。实验室以"科研牵引、中试验证"贯通创新链,成立三年来持续在国际顶尖舞台刷新纪录,此次突破标志着实验室的学术影响力与技术话语权再上新台阶。
此次深圳平湖实验室入选的6篇论文,全面覆盖SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)及第三代半导体跃升等关键方向,精准聚焦行业前沿热点与核心技术瓶颈,也是实验室坚持前沿探索与产业攻坚并重的有力印证。
未来,实验室将持续深耕第三代、第四代功率半导体核心技术研发,立足产业实际突破技术瓶颈,着力打造高水平功率半导体创新科研平台,以实打实的研发成果赋能产业发展,为全球半导体行业技术进步贡献本土创新动能。
深圳平湖实验室2026年IEEE ISPSD发表论文详情如下:
1.Yan Cheng*, Yu Shi*(*Equal contribution) et al.,Record-Low RON,SP and RON×QG in Regrowth-Free Low-Voltage p-GaN Gate HEMTs on 200-mm GaN-on-Si Platform
深圳平湖实验室(第一单位)与香港科技大学、南方科技大学联合发表
简介:随着人工智能(AI)和高性能计算(HPC)的快速发展,数据中心对高效供电系统的需求日益迫切,尤其是在计算芯片供电端,亟需高频率、高能效低压功率器件。本文报道了基于8英寸硅基氮化镓平台实现的低压增强型p-GaN HEMT器件,通过突破尺寸微缩、超低欧姆接触等关键技术,器件实现了超低比导通电阻(Ron,sp )与优值(Ron × Qg)。在6 V-1.8 V同步降压转换应用测试中,该器件在1.1 MHz和2.2 MHz开关频率下的峰值效率分别达到93.5%和90.5%。上述成果充分验证了GaN 器件在低压高频应用中的优势,为高性能计算芯片的供电系统提供了新的技术路径。
2.Hui Jiao et al.,Investigations of CMOS-Compatible 1200 V E-Mode p-GaN Gate HEMTs on 8-Inch Si Substrate with Thick (> 8 µm) Epitaxial Layer
深圳平湖实验室(第一单位)与南方科技大学、深圳职业技术大学联合发表
简介:针对1200V高压电力电子需求,8英寸硅基GaN器件常面临厚外延导致的严重翘曲及衬底干扰引发的动态不稳定性。本文通过精细的应力工程,首次在8英寸硅衬底上实现8.2μm高质量外延生长,将翘曲控制在30μm内,且垂直击穿电压超2.25kV。厚缓冲层设计将衬底隔离系数降至0.01,电流迟滞减少50%,有效抑制了电荷存储效应。在1200V高压应力下,器件阈值漂移小于3%,并通过150℃高温可靠性考核,充分验证了该平台在工业级高压领域的应用潜力。
3.Haizhao Zhi et al.,Bipolar Pre-Injection Phenomenon at Anomalously Low Anode Voltage in 4H-SiC RC-IGBT
简介:基于实验室平面沟道碳化硅JFET功率+IC MPW平台,设计了short-base RC-IGBT阳极测试结构(本文包括了Field-Stop以及P+ floating region 2种configuration);首次发现了碳化硅中反常的低偏压阳极少子注入效应---bipolar pre-injection phenomenon;使用SRH模型和 1D analytical model进行机理分析,为未来进一步优化RC-IGBT阳极结构设计提供新的思路。
4.Haizhao Zhi et al.,Parasitic BJT Activation and Punch-Through Mechanisms in a Hybrid-Drain Embedded SiC JFET
简介:基于实验室碳化硅平面沟道JFET功率+IC MPW平台,设计了一种新的混合漏极的Hybrid-Drain SiC JFET器件;本文详细分析寄生BJT激活造成显著零压栅偏的混合漏极注入现象,以及其寄生BJT的穿通机理;进一步通过器件DOE设计,证实了寄生BJT在HD-JFET导通现象中的关键作用。
5.Yun Xia et al.,Design and Fabrication of 1 cm2 Chip Size, 20 kV Rated SiC MOSFETs on 200 mm SiC Wafer
简介:超高压SiC器件在智能电网、AI数据中心电力系统、高功率脉冲系统等应用领域具有关键应用价值,为电力电子系统革新提供关键技术支撑。本文基于实验室自研的8英寸SiC厚膜外延及自有的8英寸工艺平台,完成国际首次20kV电压等级 SiC MOSFET器件设计及制造,器件基于1.32mm的终端结构实现创纪录的23.1kV耐压,器件单芯片面积为1cm×1cm,导通电阻为1.04Ω,对应的器件比导通电阻接近理论极限仅489mΩ·cm2。器件工艺流程与现有低电压 SiC MOSFET 制程兼容,为超高压大尺寸SiC器件的大规模量产提供了可行路径。
6.p-GaN HEMTs with Distributed Drain-Connected p-GaN Islands for Improved In-situ-RDS(on) Stability Under Surge Voltage(Oral)
深圳平湖实验室(合作单位)与电子科技大学联合发表
简介:肖特基 p-GaN 栅极 HEMT 越来越多地应用于高密度功率转换,但仍然受到捕获效应导致的动态导通电阻退化的限制。这项工作提出了在商用 650 V增强型GaN-on-Si平台上采用横向分布式漏极连接p-GaN岛(DPI-HEMT)技术。所提出的 DPI-HEMT 保留了传统器件的静态RDS(on) 和 BV,同时在 25 °C 和 150 °C 下实现了改进的 Dyn.RDS(on) 稳定性和增强的动态 BV。这些改进源于有效的漏极侧空穴注入,可抑制缓冲器热电子俘获,并降低漏极边缘电场峰值。为了准确评估器件在极端重复浪涌电压下的鲁棒性,开发了一种板载原位 RDS(on) 监测方案,可实现微秒级浪涌电压后应力采样,并避免传统板外测量中固有的去捕获引起的 RDS(on) 退化低估。使用这种方法,DPI-HEMT 在经过多达百万次重复浪涌电压应力后,其原位 RDS(on) 比传统器件低 28%,显示出其在超高电压应力下的出色器件稳定性。


