聚光能、铸精工、鉴芯境——面向半导体工艺制造及量检测用激光器研讨会在深圳举办

2026年6月6日，面向半导体工艺制造及量检测用激光器研讨会在深圳顺利召开。会议由集成电路零部件创新联盟主办，深圳平湖实验室、广东省大湾区集成电路与系统应用研究院、深圳市半导体与集成电路产业联盟承办，深圳平湖实验室主任万玉喜担任上午场主持，集成电路零部件创新联盟理事长雷震霖出席并作开幕致辞。

激光器是半导体产业关键基础器件，既是半导体制程加工的重要能量源，也是各类精密量检测设备的核心光源，贯穿芯片制造、精密检测全产业链应用场景，直接影响芯片制程迭代与产品良率管控。本次会议立足激光器关键产业价值，深度链接产学研用创新体系，汇聚国内顶尖科研院所、半导体激光及设备领域头部企业、FAB厂等，吸引超60家链上标杆单位、近百位行业专家参会，围绕半导体制造、精密量检测领域激光器前沿、工艺落地、国产化替代、场景应用等关键议题展开全维度深度研讨。会议旨在破解半导体工艺制造与量检测用激光器真实痛点，实现前沿理论与工业需求精准高效对接。通过凝聚产业链上下游共识、整合资源，加速关键核心技术协同攻关，为我国半导体激光器自主替代、产业链安全可控、高端制造能力持续升级筑牢根基。

一、专家齐聚，把脉产业前沿

会议全天开展十场重磅专题报告，上午场学术氛围浓厚、干货满满，来自中科院物理研究所、上海交通大学、广东省大湾区集成电路与系统应用研究院、深圳技术大学半导体光电材料与芯片检测实验室、北京大学信息工程学院、广东卓劼激光科技等单位专家代表依次分享发言。嘉宾们围绕高端激光光源技术攻关、智能产业升级、半导体光刻与精密检测落地、核心器件国产化自主创新等六大议题展开深度主旨演讲，精准拆解国产半导体激光器在光刻、芯片缺陷检测等关键场景的技术瓶颈与产业化路径。

下午场的专题报告由广东省大湾区集成电路与系统应用研究院王云院长主持，深圳平湖实验室与中国电科48所、深圳逍遥科技、德硅凯氟光学晶体研究院等机构专家，聚焦激光器落地需求、高端激光设备国产化、硅光配套光源、特种晶体元器件研发四大方向作产业专题分享。

二、圆桌研讨，破解行业难题

大会专题研讨环节紧扣产业发展现实瓶颈，设置两大核心研讨议题：激光器在半导体量测领域的问题及痛点、激光器在半导体退火工艺领域的问题及痛点。深圳平湖实验室、莱普科技、上海精测、中科飞测、埃芯半导体等产学研一线技术专家同台交流、务实磋商，现场达成多项联合攻关意向。

三、企业路演，精准供需对接

当前半导体产业竞争日趋激烈，技术迭代加速、产业链协同要求更高，单靠企业单打独斗已难以应对挑战，必须依靠平台化支撑、生态化聚力。此次研讨会增设了生态企业资源推介环节，芯盟会展介绍26年“湾芯展”的最新咨询，罗山科技园带来整合政策、资金、人才、技术、供应链的 “一站式” 平台解决方案，高效打通供需对接渠道。

四、实地参访，探秘新型平台

会议还安排了实地参观交流环节，嘉宾们走进深圳平湖实验室，近距离观摩前沿技术与最新研发成果，直观感受半导体激光领域的科创硬实力，实现“理论研讨+实景赋能”深度融合。

五、同谋新局，助推产业提速

本次研讨会立足我国半导体与集成电路产业基础再造与时代发展契机，紧扣激光器产业和发展方向搭建的行业对接桥梁，深度贴合深圳“20+8”产业集群，实现上游光学晶体、元器件，中游激光器整机，下游半导体工艺与量检测装备全产业链精准对接，同步推进产品应用验证标准共建。参会各方达成共识，将聚力打通技术端与产业端合作通道，助力我国半导体工艺制造及量检测用激光器产业高质量突破式发展。