工艺研发工程师
工作内容：
1、负责SiC器件制程工艺技术的研发及优化，参与SiC器件技术路线定型；
2、参与编制公司技术开发规划；
3、负责SiC材料试验及特性分析；
4、负责新设备、新工艺、新材料的评估，并参与认证；
包括但不限于以下其中方向：
（1）氧化：负责栅氧参数的配方及优化、提升栅氧可靠性；
（2）薄膜及合金化：负责肖特基接触、P型及N型欧姆接触的开发及优化；
（3）光刻刻蚀：负责关键CD的控制、刻蚀形貌的优化；
（4）注入激活：负责合理的注入参数优化、碳膜保护技术开发及优化、控制掺杂激活率；
（5）湿法清洗：负责湿法清洗、湿法刻蚀、界面预处理等工艺开发及表征优化；背面工艺：负责临时键合、背面减薄和欧姆接触的工艺开发。
任职资格：
1、博士/硕士3年以上/本科5年以上工作经验，SiC工艺经验可酌情降低工作年限；
2、微电子学、半导体物理、化学相关专业；
3、掌握半导体理论及工艺理论知识，熟练掌握SiC器件材料特性。
分享
